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超纯水设备在电子半导体行业中的应用

出处:未知  作者:郑州水处理工程师  发布:2020-09-22 00:39  阅读:

  电子半导体行业生产过程中对水的应用要求较高,因此大多企业都会选择性价比较高的超纯水设备。电子半导体行业超纯水设备通常由多介质过滤器,活性炭过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人值守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使该设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。

  我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级。高纯水的国家标准为:GB1146.1-89至GB1146.11-89 ,高纯水的电子级水分为五个级别:Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级,该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。电阻分别对应为:18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。

  超纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有:1、微电子工艺对水质的要求;2、制水工艺的水平; 3、检测技术的现状。

  超纯水在电子元器件生产中的重要作用日益突出,超纯水水质已经成为影响电子元器件产品质量、生产成品率以及生产成本的重要因素之一,水质要求也是越来越高。在电子元器件的生产过程当中,超纯水主要用作清洗用水以及用来配制各种溶液、浆料,不同的电子元器件在生产过程中纯水的用途及对水质的要求也略有不同。因此电子行业的生产用水离不开超纯水设备,这也是电子行业为什么用超纯水设备的原因。

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